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随着科学技术的发展,智能化设备的不断更新换代,人们对透明导电膜(TCO)性能的要求原来越高,单层结构的透明导电膜(ITO、AZO等)以其较低的导电性能早已不能满足生产需求。而对TCO复合膜的研究大多局限在对于中间功能层及两侧介质层材料的选择搭配及介质层材料掺杂比例的调整、溅射参数的调整、沉积条件的改变等方面。近年来,人们对TCO复合膜的研究还没有突破性进展,其光电性能提高不多,TCO复合膜的研究似乎已经到达了一个瓶颈期。因此,在TCO复合膜中加入Zr-Cu、Al-Ag籽层,使TCO复合膜金属层减薄,