基于硅表面的微型气相色谱研究

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色谱法是一种分离和分析的方法,在分析化学、有机化学、生物化学等领域有着广泛的应用。但是,传统色谱法由于体积庞大、不利于携带等缺点,无法满足分析检测“时效性”和“便携性”的需求。随着近年来MEMS技术和半导体器件工艺技术的发展和成熟,各种微型气相色谱仪已经成为当前色谱研究的热点。由于微型气相色谱具有体积小,能耗低等优点,微型气相色谱在药物监测,环境保护和航天事业中具有非常广阔的应用前景。本文基于实验室超净间微纳加工平台,研究制备了一种新型的高性能微型色谱柱芯片。同时将其运用到实际的测试中,取得了非常好的实验结果。基于该结构,我们提出了多种实际应用的可能性。具体研究内容如下:1. 通过实验摸索,获得了成熟的微型色谱柱制备工艺。根据实验室MEMS工艺环境,成功制备出一种具有沟道长3m,宽150μm,深300μm且含有直径为30μm圆柱体的微型气相色谱柱,该色谱柱能够分离具有13种正构烷烃的混合物。2.研究了碳纳米管和石墨烯等微纳材料对固定相的影响,并用实验结果分析其影响。3.将上述所得的微型气相色谱柱进行实际应用,测试高速公路旁的泥土中正构烷烃的含量,得到很好的分析结果。证明该种方法能够应用到土壤中正构烷烃的检测。
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