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近年来随着微纳技术的迅速发展,各种高精密微小元器件得到了广泛的使用,这对检测方法提出了更高的要求。传统方法已经无法满足新器件的检测需求,需要有更新的方法来实现这一功能,条纹投影术和显微系统相结合的三维形貌测量方法就是针对这种需求而提出的。具体来说本文主要做了以下几个方面的工作:1、通过阅读文献,分析了国内外条纹投影测量技术的研究现状,选定显微条纹投影测量系统和方法进行研究,用于微小元器件的三维轮廓测量。2、研究了相移法测量物体三维轮廓信息的原理。首先分析了相位提取和相位展开算法,并提