合成孔径雷达干涉测量(Interferometric Synthetic Aperture Radar,In SAR)结合了合成孔径雷达(Synthetic Aperture Radar,SAR)成像技术和干涉测量技术,在地表变形监测以及数字高程模型获取等方面具有覆盖范围广、重访周期短、精度高以及不受云层影响等突出优势。SAR影像配准是In SAR数据处理的关键环节之一,精确配准对于提高In SAR数据处理质量具有非常重要的意义。此外,由配准获得的偏移量可以直接应用于地表形变研究,即偏移跟踪(Offset Tracking,OT)。但是,标准的偏移跟踪是估计均匀分布于两个SAR影像上的同名点的变形,不考虑地表的散射特性,这导致偏移跟踪效率低且结果不可靠。本文提出了一种基于特征点的偏移跟踪方法(Feature Points OT,FPOT),以克服标准偏移跟踪方法的缺陷。该方法结合了Speeded Up Robust Feature(SURF)算子、外部土地覆盖信息、互相关算法、四叉树滤波等。实验结果表明,该方法能显著提高配准及偏移跟踪的效率、准确性和可靠性。本文主要研究工作如下:(1)主要说明了In SAR影像配准方法以及配准的基本流程。(2)重点阐述偏移跟踪的基本原理以及处理流程。介绍了标准偏移跟踪方法及处理流程,并针对标准偏移跟踪的局限性提出了FPOT方法。FPOT主要包括利用SURF算子特征点的探测,然后利用外部数据剔除不当的特征点,并对保留下来的特征点进行互相关处理,对获得的偏移量进行多项式拟合及四叉树滤波,最后进行三维建模获取地表三维形变。(3)进行实验验证。通过新西兰、尼泊尔以及智利三个地震验证本文提出的方法的性能,结果表明基于特征点的偏移跟踪方法能提高传统偏移跟踪方法的空间分辨率,并具有更高的可靠性和计算效率。