随着现代各种类型光学仪器对小型光学零件大批量需求,越来越多的产品要求对其加工过程进行现场快速实时检测及监控。光干涉计量仪器因为其高的测量精度引起大家的广泛关注,因此,适用于生产车间的小型、现代数字化激光平面干涉仪必将具有广阔的应用前景。本文首先介绍了当前平板玻璃平行度检测的国内外发展及研究现状,分别对自准直法以及斐索干涉法应用于平面光学零件平行度测量的原理进行阐述,系统分析和研究了现有检测方法的特点和缺陷,根据项目对系统所能达到测量精度的相关要求和经济指标,基于自准直法和斐索干涉法分别提出两种平板玻璃平行度快速检测的设计方案。其次,鉴于系统设计采用了高速成像技术较好克服环境振动对干涉测量的影响因而可用于生产车间现场检验,特别利用Matlab可视化程序设计语言编写程序实现对数字图像实时自动判读避免人为判读的主观性误差,使其具有广阔的市场前景。分别利用两种系统设计对平面光学零件进行测试,较详细阐述干涉测量的调节过程,并将拍摄到的干涉条纹转化为数字信号进行实时处理,最终实现平板玻璃的平行度值的速度计算并检测样品是否合格。文章最后对工作进行了总结,并提出了一些对图像处理的其他思路和方法,以及扩展到光学零件其他参数的检测。