全站仪改变了传统的测量思路，直接测定点位的三维坐标。全站仪的平面定位精度一般能够满足各方面应用的需要，但其高程测量的利用一直是个广泛探讨的课题。本文从分析全站仪的定位精度着手，着重研究提高全站仪三角高程精度的理论和方法。 首先，在全站仪的平面定位精度方面，指出方向、距离归化计算和坐标转换的重要性，导出极坐标定位法平面坐标和点位中误差的计算公式，并分析影响中误差的主要因素。 其次，在全站仪的三角高程精度方面，把折光系数作为时间和方向变量，根据全站仪三角高程单向观测法、对向观测法和中间观测法高差以及单向观测法的计算公式，导出高差中误差的计算公式，并对中误差进行了详细分析和深入讨论。 再者，根据大气折光的变化特点，导出大气折光系数中误差的计算公式，分析影响大气折光系数测定精度的主要因素。实施有效的大气折光系数实时改正，成为提高全站仪精密三角高程精度的关键。 随着全站仪的日臻完善，采用高精度全站仪三维坐标法对工程施工进行定位，其测定精度可以满足施工质量检验评定标准的要求。三维坐标定位法测定环节少，测定时间短，能够大大加快工程施工进度。