高品质光学谐振器在光集成、光通信和光传感等领域具有广阔的应用前景,需要对其光谱特性(包括幅频和相频响应)进行精确测量和表征。光矢量网络分析技术是目前唯一可以同时测量光学谐振器幅频和相频响应的方法,然而受限于谐振器谐振带宽窄及光学本振源频率漂移严重,无法对高品质光学谐振器特性进行精准测量。针对上述问题,本论文提出并研究了基于Pound-Drever-Hall稳频技术的高精度光矢量网络分析技术,有效解决了高品质光学谐振器的幅频和相频响应特性的测量瓶颈。本论文具体研究工作如下:1、本论文围绕高品质光学谐振器的矢量网络分析测量难点,首次将PDH稳频技术应用于光矢量网络分析系统中;在此基础上,利用对称双边带调制和二倍频接收架构实现高品质光学谐振器传输特性的精准测量。2、本论文面向高品质光学谐振器的矢量网络测量需求,构建了基于对称双边带调制和二倍频接收架构的光矢量网络分析系统的工作原理模型,通过数值仿真研究分析了电光调制非线性对该光矢网方案测量准确度的影响。3、最后,论文实验验证了基于PDH稳频技术的光矢量网络测量系统,精确测试了Q值4.02×105的F-P腔传输特性,持续稳定测试时长90分钟以上,有效证明该技术在高品质光学谐振器光谱响应特性参数的精准测量中具有很好的应用前景。