随着国内经济的不断发展以及世界经济的一体化进程的不断加速,半导体硅片企业面临的竞争愈发激烈,半导体硅片企业只有不断的提高自身的制造能力和适应水平,并对客户不断变化的需求进行满足,才能够在激烈的竞争中立于不败之地。因此,半导体硅片企业需要进行MES系统(Manufacture Execute System制造执行系统)的完整解决方案的建立,以便能够使得企业获得必要的发展条件,并对信息沟通和适应能力进行提高。可以说,MES系统已经受到越来越多制造企业的关注,半导体硅片企业需要亟待建立一套符合企业特点的MES系统。本文进行MES系统的研究与应用是基于半导体硅片企业的生产实际进行的,以满足半导体硅片企业的MES管理为最终目标。本文通过分析半导体硅片企业对于MES系统要求的特殊性和必要性基础上,确立了研究的具体方向和范畴。系统的设计与实现融合了当前先进的面向对象设计、J2EE技术以及统一建模语言技术等。本文的主要研究重点和工作主要包括如下内容:(1)对半导体硅片企业生产流程和特点进行分析,确定当前MES系统存在的缺陷和不足;(2)借助于统一建模语言技术,对半导体企业MES系统的业务模型进行分析和建立,确定系统的业务环境;(3)对半导体MES系统进行功能结构、体系结构以及网络结构的设计,并采用逐层深入的方式对MES系统的主要功能模块进行详细设计,建立对应的数据模型;(4)在MES系统的生产控制环节引入JBPM工作流技术,实现生产控制、质量控制以及工艺控制的智能化和自动化管理,规范生产流程和生产质量;(5)借助于J2EE技术对MES系统的实现过程进行分析,并通过测试用例的形式分析实现效果。通过对半导体企业进行实施MES系统,可以完善企业对于设备、质量、生产流程的监控,并逐步形成整套的追溯工具和平台,便于企业进行各种信息的追溯,包括处理方法、处理结果、生产车间、操作人员、工序以及产生时间等。实施具有半导体企业特点的MES系统,不但能够对于企业人员进行促进和鞭策,而且可以提高企业的生产效益。同时,随着本MES系统在半导体企业的实施和应用,对于其他企业的研究与应用有一定的借鉴意义。