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随着天文观测对望远镜分辨力要求不断地提高,加大口径是提高分辨力的有效途径,而大口径望远镜制造难度大,现代大型望远镜多采用相干合成孔径技术。相位调制器是相干合成孔径望远镜中光束合成机构的关键部件,相位调制器运动信息的检测精度和速度决定了相位调制器的调制精度和控制带宽,提高相位调制器的调制精度和控制带宽有助于提高合成孔径望远镜的成像分辨力。相位调制器运动信息包括俯仰角度、方位角和轴向位移三个自由度(3-DOF),三个或者多个自由度的实时测量方法还处于发展阶段,单个系统实现多自由度测量的方法极少,而传统的