我国经济发展已迈入“新常态”,转换经济增长动力、优化升级产业结构等新挑战不可小觑。在我国发展与变革的节点上,推动制造业的转型升级,提高制造业实力和竞争力,增强国家综合国力,是经济结构调整和实现社会主义现代化的关键。为激励制造业技术创新政府采取了税收优惠、财政支持等补贴政策大力度扶持,而政府补贴的成效问题也倍受社会关注。与此同时,随着大数据时代的到来,工业互联网、大数据、人工智能、云计算等数字科技不断普及化与大众化,数字化与技术革新为经济社会注入了发展新动力,极大地增强了企业的信息处理能力及信息使用效率,已逐渐成为了创新驱动新的引擎,在政府补贴与企业技术创新之间扮演者重要的角色。本文基于2015年至2019年沪深A股制造业上市公司面板数据,运用四阶段DEA和Bootstrap-DEA组合方法进行技术创新效率测算,并对各阶段制造业上市公司技术创新效率进行分析与评价。在此基础上,将四阶段DEA和Bootstrap-DEA组合方法测度取得的制造业上市公司技术创新效率值作为被解释变量,构建面板数据模型实证分析了政府事前补贴和事后补贴对企业技术创新效率的作用效果以及企业数字化对两者关系的调节效应。最后进一步基于效率异质性、企业规模异质性、产权性质异质性进行拓展性研究。实证结果表明:（1）制造业上市公司创新效率整体偏低,仍有还有较大提升空间。从行业角度看,传统制造业的技术创新效率高于其他制造业;从区域角度看,沿海华东和华南地区技术创新效率高于其他地区。（2）事前补贴、事后补贴两类政府补贴都会对制造业上市公司产生负向的抑制作用;而企业数字化一方面缓解了事前补贴对技术创新效率的负向影响,具有正向调节效应;另一方面加剧了事后补贴对技术创新效率的消极影响,具有负向调节效应。（3）对于不同技术创新效率水平、企业规模、产权性质的制造业企业,政府补贴与技术创新效率之间的关系及企业数字化的调节作用存在异质性。最后,本文结合上述研究结论提出相应的政策建议。