绝缘陶瓷材料具有高硬度、高强度、耐高温、耐磨损等诸多优越性能,是21世纪的关键材料之一,其工程应用前景非常广阔。但陶瓷材料极硬且脆,传统的机械加工方法难以对其进行加工,极大地制约了陶瓷材料的实际应用。电火花加工由于几乎不受材料机械性能(如脆性、硬度等)的影响,特别适合于常规方法难以加工材料的加工。但电火花加工一直被认为只能加工导电材料,对绝缘材料的加工无能为力。本文采用辅助电极法,对绝缘氮化硅陶瓷材料的电火花线切割加工进行了研究。在对国内外陶瓷材料的加工方法进行介绍的基础上,分析了陶瓷材料辅助电极法加工的最新研究情况,阐述了辅助电极法电火花加工的基本原理,研究了导电膜的形成过程,并对陶瓷材料电火花线切割进行了实验研究。在阐述电火花线切割加工原理的基础上,介绍了绝缘陶瓷辅助电极法的加工原理和加工方法,并对电极丝附近的带电粒子受力进行了理论分析,使用MATLAB软件绘制了电极丝附近大量带负电胶体粒子的运动轨迹曲面,从而阐述了氮化硅陶瓷表面导电膜的形成过程。分析了氮化硅陶瓷材料的电火花线切割加工单脉冲放电的热源模型、热边界条件和放电通道半径等,使用非线性有限元软件MSC.MARC对电火花线切割加工氮化硅陶瓷材料进行了温度场模拟,分析了氮化硅陶瓷材料在单脉冲放电情况下的温度场分布,从而研究了电参数对加工的影响规律,绘制了电参数与氮化硅陶瓷材料蚀坑尺寸的关系曲线。对氮化硅陶瓷材料的线切割加工进行了试验研究,分析了电参数对导电膜电阻、放电间隙、加工速度的影响,并对加工后的表面和电极丝材料表面进行了SEM和EDS分析。研究表明,电火花往复走丝线切割加工方法可以应用于绝缘氮化硅材料的加工,导电膜在加工中起着非常重要的作用;脉冲宽度是影响导电膜形成的关键因素;同导电材料相比,绝缘氮化硅陶瓷材料电火花线切割加工速度较低;加工后的陶瓷表面元素主要由C、Si、Mo组成。