基于MEMS技术的热导池检测器在变压器油中气体监测系统的应用研究

来源 :化工自动化及仪表 | 被引量 : 0次 | 上传用户:firexuan1983
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介绍用于变压器油中气体监测的色谱分析技术及存在的不足 ,分析热导池检测器的工作原理和MEMS技术的特点 ,在此基础上根据实际需求 ,设计了一个由基于MEMS技术的TCD构成的变压器油中气体在线监测系统 ,实验表明 ,该系统灵敏度、稳定性等均达到了现场检测的需求 ,能够应用于工业现场
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