微机械系统(MEMS)结构力—电耦合分析研究

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该文第一章对网络划分的各种方法做了比较分析,并提出了自己的算法,包括用格栅法进行布点;Delaunay三角剖分法连线;BubbleMeshing方法进行节点调整.这种算法的提出,是对有限元法的有益尝试.微机械系统由于涉及到若干物理场,经常要用到数值模拟的方法来求解.目前能用于微机械数值模拟的方法包括有限元法和边界元法:目前已有商用有限元程序能提供便捷的微机械力电耦合计算;边界元法则以其计算量少及精确度高占优势.该文第二章至第四章用有限元法(ANSYS)以及BEM&FEM程序计算了一些经典的微机械力电耦合模型,通过比较计算过程和计算结果,验证了自编全自动BEM&FEM程序的可行性.
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