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点衍射干涉仪这一物理思想，早在1972年Smartt和Strong就已发明，由Smartt和Steel做了进一步发展，并成功的用于检测天文望远镜，它结构简单，对光源没有特殊要求，近年来，由于光纤制造工艺以及耦合技术的发展，单模光纤纤芯不断缩小，为光纤点衍射干涉仪得以发展提供了前提条件，该干涉仪由激光照明，除了检测会聚波前外，还可以用来检测反射凹球面，进而应用到单个面形的检测；另外，光纤点衍射干涉仪最大的优点是不需要标准镜，在干涉检测中，标准镜是检测精度受限的很大原因，光纤点衍射干涉仪能绕开这一难度，