WO<,x>气敏薄膜与ZnO/Metal/ZnO金属介质多层膜的正电子研究

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【摘要】

：

本文使用正电子湮没技术,对WOx气敏材料和ZnO/Metal/ZnO金属介质多层膜做了系统地研究,分析了样品的实验数据,并得到一些有意义的物理结论。在完成实验分析的同时,作者还对ZnO/Metal/ZnO金属介质多层膜做了理论设计,以获得400至700纳米可见光波段内的高透过率的膜系。1. WOx气敏材料的正电子研究利用热丝化学气相沉积法(HFCVD),通过逐步改变热钨丝的温度,制备了一系列WOx

【作者】

：

楼捷

【机构】

：

中国科学技术大学

【发表日期】

：

2009年05期

【关键词】

：

慢正电子束 WOx气敏材料 ZnO/Metal/ZnO金属介质多层膜减偏振减反射膜

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