飞秒激光双光子微纳加工具有真三维、亚微米分辨率和热效应小等优点，已在微细加工领域中广泛的应用。本文采用理论和实验相结合的方法，优化飞秒激光加工工艺参数，进行微光学和微机械功能器件的微加工，探讨这些功能器件在应用中的若干问题。本文的主要研究工作及成果如下：　　 1.在实验室的飞秒激光微细加工系统的基础上，升级了加工控制软件。　　 2.对飞秒激光加工系统的能量和扫描路径等工艺参数优化，实现了微透镜阵列的三维加工。结合飞秒激光加工和微电铸技术，得到了微透镜阵列的金属模具。　　 3.对比采用S-3和SU8两种常用光刻胶，优化工艺参数，实现了微齿轮的三维精细加工。并结合飞秒激光加工和微电铸技术，得到微齿轮的金属模具。　　 4.采用超衍射相位板对飞秒激光进行调制，通过实验研究对超衍射相位板调制后的点、线实际加工效果分析。　　 本论文结合飞秒激光双光子微纳加工的优点，优化加工得到几种不同类型的微功能器件，为以后飞秒激光微纳加工在MEMS领域中的应用提供了很好的参考。