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本硕士论文提出了一种基于ZnO纳米阵列的n-ZnO/p-Si异质结太阳能电池,其结构为:FTO或AZO透明导电玻璃/ZnO籽晶层/ZnO纳米阵列/硅薄膜/金属电极。本论文具体研究了该太阳能电池结构的制备方法和表征,通过改变工艺条件和制备参数研究制备此结构的太阳能电池。电池的主要制备过程为:首先在FTO或AZO透明导电玻璃衬底上采用溶胶-凝胶法形成ZnO籽晶层,化学溶液生长法在籽晶层上制备ZnO纳米阵列;其次采用等离子增强化学气相沉淀法(PECVD)在ZnO纳米阵列表面制备硅薄膜;最后在硅薄膜上蒸镀金