在精密测量与精密加工等领域,仪器、设备等自身微幅振动的问题已经摆在了人们的面前,成为技术进步的瓶颈。鉴于很多情况下,这种振动并非来源于设备自身,因而建立隔振平台是一种有效的振动抑制手段。本文基于大型空气弹簧隔振平台,研制出一种新型的主动隔振系统,有力地弥补原有被动隔振系统的不足,进一步提高隔振平台的性能。本文对隔振平台和空气弹簧组成的六自由度振动系统的原理、性能及参数进行了分析。并且分析了被动隔振系统的不足之处,同时对被动隔振系统固有频率进行了理论计算。针对被动隔振系统在低频带的不足,并且根据隔振系统的实际情况,应用经典的PID控制器设计了三自由度主动控制算法,并经过仿真分析,大幅度降低了隔振系统在低频带的振动传递率,提高了隔振平台的姿态精度,显著提高了隔振系统的性能。针对隔振系统的特点,参考磁悬浮的原理,设计了适合主动隔振系统应用的电磁作动器,并设计了与之配套的功率放大电路,还对其他系统必需的硬件进行了选型。本文应用数字PID控制算法设计了控制系统的软件,实现了实时控制、动态显示、数据记录、参数调整以及故障报警等控制功能。应用Simulink动态仿真模块对主动隔振系统进行了仿真,应用主动控制模式实现了对各种扰动的抑制,提高了隔振系统的综合性能指标。