数字化X-Ray平板图像探测器广泛应用于航空宇航、医疗、无损检测等工业领域，其产品具有品质优良、数据传输方便等优点而备受青睐。随着液晶显示面板产业非晶硅工艺和大规模集成电路的发展，研究数字X-Ray平板探测技术的浪潮汹涌而至，引发国内著名高校及科研机构学者专家热衷于相关课题的研究。本文基于目前发展较为成熟的非晶硅工艺技术，设计了一款应用于平板图像探测的TFT阵列基板。文章首先介绍X-Ray成像技术的发展历程、国内外研究现状及数字平板图像探测器的优点，并在此基础上分析了X-Ray平板图像探测器的工作原理，确定本论文的研究内容，即设计一款用于数字化X-Ray平板成像探测器的大尺寸阵列基板。随后对TFT阵列基板的工艺技术做了较全面的研究，包括光刻工艺、磁控溅射的镀膜工艺、等离子化学气相淀积(PECVD)工艺以及刻蚀工艺中的干法刻蚀、湿法刻蚀。完善的工艺研究为TFT阵列基板的设计奠定了基础。TFT阵列基板是整个设计的关键。文章采用产线提取的最精确的薄膜晶体管Spice模型，用SmartSpice仿真软件对像素进行充电率、I/V特性曲线的模拟。充分分析开态电流、关态电流、跳变电压及延迟对面板的影响，进而优化阵列基板的设计。采用专业的工程制图软件Laker绘制Array基板的全部版图。最后对流片的阵列基板的性能进行测试。主要进行外观图案检查、扫描电镜鉴定成膜质量、实测I/V特性曲线。测试结果符合设计指标，得到了较为理想的TFT阵列基板。