超精密加工技术是关乎国家安全和尖端科技的关键技术,是现代战争的重要支撑。超精密机床作为超精密加工的重要载体,直接决定了零件加工的精度、可靠性和稳定性。由于加工测量误差、几何尺寸、材料属性以及约束条件等的不确定性造成机床参数的不确定性,会导致其振动特性的不确定,进而影响超精密机床零件加工的精度。因此对含区间参数的超精密机床进行振动特性分析,显得尤为重要。本文基于区间算法和多体系统传递矩阵法,建立了含区间参数的多体系统振动特性分析方法。运用二阶Taylor展开,推导了机床系统各元件含区间参数的区间传递矩阵和区间传递方程,实现了对含区间参数的机床系统特征值问题的计算分析,计算结果与扫描法的计算结果吻合较好,证明了本文方法的有效性和高效性。该方法无需建立系统总体动力学方程,无需大量的统计数据,只需知道不确定参数的上、下界限,即可快速计算获得系统的不确定特性。基于区间算法和新版多体系统传递矩阵法,建立了求解非线性大运动动力学响应的方法,实现了含区间参数的系统动力学分析。本文研究结果为不确定机床系统动力学总体设计提供了理论支撑。