【摘 要】
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近年来,低温等离子体技术在工业中的应用有了很大的发展.我们利用等离子体的可见光谱来测量ICP氮等离子体的电子温度,氮分子振动温度并得到了它们随各种等离子体宏观参量变化
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近年来,低温等离子体技术在工业中的应用有了很大的发展.我们利用等离子体的可见光谱来测量ICP氮等离子体的电子温度,氮分子振动温度并得到了它们随各种等离子体宏观参量变化的规律,例如电子温度随气压升高而降低,氮分子振动温度在10Pa左右有一个峰值.我们首次利用在ICP氮等离子体中掺入惰性气体的方法来调节电子温度,发现在氮等离子体中掺Ar可以降低电子温度,而掺He却可以升高电子温度.我们还将这一结果与ECR设备上的结果进行了比较.利用ICP的真空紫外光谱,我们测量了氮等离子体中氮原子这种活性粒子的密度,并通过在氮等离子体中加入惰性气体Ar或He来控制它的产生.我们发现随着Ar、He两种气体的比例到达某一特定值时,氮原子密度的变化出现一个峰值.
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