小模数齿轮通常指模数小于1mm的齿轮,在IT、机械电子、仪器仪表等领域中得到广泛应用。作为关键零部件,其质量直接影响到主机的精度、噪声和寿命等,因此,为保证主机质量需要对小模数齿轮精度进行测量。与接触式测量相比,采用视觉测量方法进行快速测量是工业零部件检测领域的发展趋势之一。本文基于小模数齿轮视觉测量,对其中的系统标定、偏差评定、软件开发等关键问题进行了研究。主要完成了以下工作:(1)研究了小模数齿轮视觉测量系统的标定方法,采用圆点标定板进行了像素当量标定。(2)给出了基于视觉测量的小模数齿轮基本参数测量结果,包括:齿数、齿顶圆半径、齿根圆半径、模数、齿轮中心坐标。在此基础上处理得到齿廓亚像素散点数据。研究了依据ISO 1328-1:2013的齿距偏差和齿廓偏差评定方法。(3)基于C#语言联合Halcon开发了小模数齿轮视觉测量软件,具有齿轮基本参数测量、齿距偏差和齿廓偏差评定、测量结果显示和保存的功能。(4)进行了标定试验,得到测量系统的像素当量;通过试验确定了试验条件中的光源亮度;开展了齿轮测量试验,得到齿轮基本参数、齿距偏差和齿廓偏差测量结果,并进行了比对试验。