论文部分内容阅读
光干涉测量技术是一种非接触式测量,具有很高的测量灵敏度和精度。干涉测量应用范围十分广泛,可用于位移、长度、角度、面形等方面的测量。干涉仪以干涉条纹来反映被测件的信息,其原理是将光分成两路,干涉条纹是两路光光程差相同点连成的轨迹。在干涉测量中,外界振动和空气扰动会引起两路光光程差的变化,使干涉图发生抖动,降低了干涉技术的测量精度,限制了干涉技术的应用范围。因此,设计一个完善的抗振系统具有重要的意义。本文首先分析了振动对干涉测量的影响,介绍了抗振干涉技术的研究现状。然后研究了抗振干涉技术的相关原