本文通过对闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术的分析，结合镀膜电源监控系统在国内外的发展现状，研究设计了基于RS-485总线的多台镀膜电源实时监控系统。一方面为镀膜工艺指导提供科学数据，另一方而为镀膜电源大规模应用于工业生产向着智能化方向发展提供重要的现实意义。　　本文通过对RS-485总线和CAN总线的对比分析，从实际需求出发设计了基于RS-485集线器的总线结构，此结构将485总线分割成多个485总线的特性，提高了通信的可靠性，同时此结构采用485总线中继器，扩大了总线传输的距离。本文设计基于Modbus-RTU协泌的通信协议栈，用Visual Studio2010 C++平台编写了基于Cserialport类的多线程通信程序，并针对通信时出现超时异常、接收数据的多帧或少帧以及CRC校验出错的问题进行通信软件抗干扰设计。对监控系统进行了功能模块化设计且在MFC框架上完成了上位机界面的设计，为上位机软件设计了MySQL的数据库。　　镀膜电源监控系统可以实时显示出DSP上传的数据，可以给DSP下发数据，具有查询MySQL数据库中的历史数据、报警信息等功能。最后在研究与设计的基础上搭建基于RS-485总线的一台镀膜电源控制器的现场总线实验平台，实验结果验证设计的镀膜电源监控系统满足镀膜电源实时监控系统的要求。