【摘 要】
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该文第一章对单电子学的一些基本知识作了简单描述,并介绍了两种纳米级加工方案:自上而下和自下而上的工艺方案.第二章主要介绍了SPM的工作原理,探讨了其纳米加工的技术原理,
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该文第一章对单电子学的一些基本知识作了简单描述,并介绍了两种纳米级加工方案:自上而下和自下而上的工艺方案.第二章主要介绍了SPM的工作原理,探讨了其纳米加工的技术原理,并对STM针尖的制备进行了仔细的讨论.第三章主要是在钛膜表面用STM进行了纳米量级的点线的加工实验,还对这些点线的性质进行了详细的分析,并在钛膜表面上得到了最小直径为40nm的金属点,最小直径为17nm的不完全氧化钛点,以及长度为500nm、宽度小于10nm的不完全氧化钛线.该文的第四章主要是用STM在钛膜表面加工得到纳米量级的介观隧道结结构.然后借助STS进行测试,在室温下观察到单电子库仑阻塞现象,并对测试结果进行理论分析和模拟.当在区域氧化的钛膜上作CITS扫描时观察到库仑阻塞和台阶现象,提出了未完全氧化的钛膜是由许多纳米量级的钛颗粒和氧化钛颗粒构成,它们彼此构成一个个介观隧道结,形成介观隧道结网络的观点.最后对该文进行了总结.
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