论文部分内容阅读
ZnSe具有禁带宽、直接带隙跃迁、激子束缚能大和能以任何比例组成任何合金等优点，又是熟知的发光、激光和光学非线性材料。因此一直是蓝色和绿色发光、激光以及在该波段相应的光学双稳态和光学非线性的重要候选材料。本文对ZnSe薄膜的制备及结构和性能进行了研究。
文章主要探讨了如何用自制的热壁外延炉采用热壁外延法生长出质量较好的ZnSe薄膜，以及初步研究了用金属有机化学气相沉积法制备质量较好ZnSe薄膜的工艺。并通过X射线衍射分析、原子力显微镜观察和室温光致发光谱分析研究了用热壁外延法和金属有机化学气相沉积法生长的ZnSe薄膜的结晶特性、表面形貌和发光特性。