微光电子机械系统(Micro-Opto-Electro-Mechanical-System,MOEMS)是将光学与MEMS结合的产物,具有低成本、高性能、微型化、集成化,可靠性强等特点,电热驱动MEMS微镜作为微光电子机械系统中的重要组成部分,已经受到了广泛关注。但是对于电热驱动MEMS微镜热学特性方面的研究还存在不足,尤其是微镜动态工作状态下的热学特性。本文主要针对一种电热式双S结构MEMS微镜进行研究,该微镜是一种可实现垂直活塞运动以及二维扭转的3D微镜,并具有大位移、低驱动电压、易于制造的特点。首先,我们对该微镜的主要换热方式进行了实验研究,根据Ti加热电阻的电阻温度特性,我们确立了通过测量Ti电阻变化情况来间接测量MEMS微镜驱动臂温度变化的方法。然后,搭建了合适的光学以及真空测试系统,运用控制变量法,分别改变输入频率,环境气压等条件,通过对分析这些条件变化对温度变化的影响,最终证明了热对流对微镜的热交换影响很微弱,而热传导在微镜与空气的换热过程中起决定性作用。然后,根据实验结论并结合理论分析,公式推导,得到了微镜的热等效电路模型,并根据该模型成功地估计出动态工作情况下微镜的等效换热系数,约为2282 W/m~2K这一数值远大于宏观尺度下的数值。该模型是一种简化模型,消耗资源小,效率高,具有很高的应用价值。最后还利用有限元分析软件ANSYS进行建模仿真,进步一验证了热等效电路模型的有效性。