本论文在综述了磁控溅射、薄膜表面浸润性以及钛的氧化物薄膜材料的研究进展的基础上，确定了以中频交流磁控溅射技术结合退火、水热后处理等方法制备TiOx薄膜的研究方向。系统地开展了钛的氧化物纳米薄膜的磁控溅射制备、表面修饰及其浸润性能研究。取得以下一些较有意义的研究结果：　　 1.通过中频交流磁控溅射制备出了结晶良好的一氧化钛纳米薄膜。该薄膜均匀、平整、致密；退火处理后得到金红石相TiO2。经水热处理后薄膜表面变为纳米片状结构，纳米片之间为几百纳米的孔隙。该薄膜不经紫外光照即能达到超亲水性，经疏水处理后，具有超疏水性。　　 2.利用中频交流磁控溅射制备出了透明的、单一锐钛矿相的二氧化钛纳米薄膜。考察了磁控溅射中温度对二氧化钛纳米薄膜组成和形貌的影响。该薄膜在制备温度下退火后具备超亲水性，同时分析了其超亲水性的机理。　　 3.利用电子回旋共振微波等离子体增强中频交流磁控溅射制备了与基底具有良好结合力的一系列不同计量比的钛氧化合物TiOx(x=1/2～1)薄膜，该薄膜经退火后晶型并未发生明显变化，但薄膜颜色有较大改变，且性能变化明显，均具有超亲水性。初步分析了薄膜颜色改变机理以及超亲水机理。通过水热后处理，得到具有垂直生长纳米片状结构的特殊形貌薄膜，该薄膜具备不经紫外光照的超亲水性，该薄膜修饰后成为低粘滞超疏水表面。　　 4.对于钛氧化合物薄膜超亲水性而言，金红石相TiO2、锐钛矿相TiO2纳米薄膜具有超亲水性，不同计量比钛氧化合物薄膜如Ti2O、TiO薄膜退火后均具有超亲水性。钛氧化物薄膜超亲水与晶型、计量比并无必然联系。超亲水性主要和表面形貌及表面化学状态氧空位及其表面纳米尺寸的亲疏水微区有关。