本文第一部分主要研究了介孔分子筛MCM-41负载AICl3作为有机硅高沸物催化裂解的催化剂,以CHCl3作为裂解封端剂,在常压下研究了其催化裂解有机硅高沸物制备有机硅单体的工艺。重点研究了采用水热法制备介孔分子筛MCM-41, MCM-41负载AICl3催化剂的合成、表征及催化裂解高沸物的催化活性,通过研究表明,该催化剂对高沸物的裂解制备有机硅单体具有很好的催化活性。利用XRD、N2吸附-脱附、原位红外、EDAX等表征技术对催化剂进行了表征。考查了反应时间、催化剂用量、等工艺条件对裂解反应结果的影响。实验结果表明,在最佳工艺条件下,高沸物在常压下的裂解率及单体总收率分别可达70.5%和63.4%。本文第二部分主要研究了活性炭负载Co、Mo、Co-Mo双金属催化剂作为四氯化硅加氢脱氯制备三氯氢硅的催化剂,在常压下研究了其催化四氯化硅加氢脱氯的工艺。重点考察了三个催化剂的催化活性；利用XRD、TPR对该三种催化剂进行了表征,并且考察了反应温度、活性组分负载量、原料比H2:SiCl4对催化结果的影响,最后对该三种催化剂的催化效果进行了对比。实验结果表明,Co/C催化剂的活性均大于Co-Mo/C、Mo/C催化剂。采用Co/C催化剂,在最佳工艺条件下,四氯化硅转化为三氯氢硅的转化率达到了5.2%。