硅基氮化镓可见光芯片的性能研究

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随着通信技术的不断提高,可将光通信必将日渐重要,而如今还没有成熟的利用同种工艺制作的同质集成的既可以发光又可以监视的可见光通信系统。而目前研究得知基于氮化镓材料制作的光子器件发光与探测共存的现象,本文就将利用氮化镓材料制作量子阱二极管来进行同时发光和能量检测的可见光通信。通过将量子阱二极管和光波导集成在金属键合的硅衬底的Ⅲ族氮化物上,首次实现了基于垂直结构量子阱二极管的整体式多组件系统平台。此系统使用所有现有标准氮化镓芯片制造工艺制造的两种相同源极的量子阱二极管分别用作LED和PD,并且形成波导以在LED和PD之间建立片上光学通路。PD吸收通过光波导耦合过来的相邻的LED发出的光,从而感应出与LED注入电流成比例的光电流,一个PD可以同时监视多个LED,通过使用信号提取方法从叠加信号中识别系统的个体LED的差异,从而形成片上功率监控系统。本文中利用垂直结构蓝光发光二极管的既可以发光,又可以检测光的性能组成了片上一对多的能量检测系统,利用PD将不同LED的不同信号区分开来。又因为PD和LED是同质集成的,也即两者地位可以互换。在未来可以将芯片用于日常道路、建筑工地上的灯,作为灯发光的同时又带有监控的功能,充分体现了多功能芯片的强大。
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