设计了一种全光固体扫描器芯片，用半导体光波导的光束偏转可以在很小的空间内实现高速的光偏转，从而改进以往的光机扫描器和电子束偏转的扫描变像管复杂的机械系统，利用全光扫描实现对超快现象的观测。该光束偏转系统是根据半导体光波导芯层中由载流子诱导折射率变化效应来实现的，其研制工作主要分为半导体光波导和锯齿形光棱镜两部分。并搭建实验平台对扫描器的光偏转特性和光波导内部的光斑模式进行了测试验证。本文先从全光固体扫描器的基本原理进行讨论，以载流子诱导折射率变化为理论依据，阐述了扫描器的基本工作原理，根据平板光波导理论探讨了单模工作条件，并根据理论计算设计了扫描器的主要结构。结合当前的实验条件，主要开展以下几个方面的工作：1.以载流子诱导折射率变化理论，平板光波导理论及异质结理论解释了扫描器工作的基本原理。2.根据理论计算设计了扫描器的外延层结构。3.设计光波导表面金属掩膜形状，并设计模拟实验理论上测试对信号光束的偏转作用。4.搭建实验平台对扫描器的光束偏转特性及光波导内部的光斑模式进行实验验证。