射频电源作为轴快流CO2激光器的激励源,是维持激光器的放电稳定及提高注入功率功率密度非常重要的一环。本文针对传统的电子管射频电源存在转换效率低、使用寿命短及体积庞大等问题,提出了一种基于新型CLASS E型功率半导体器件来开发工作频率为13.56MHz、单个射频电源模块输出功率为800W的固态射频电源,该电源具有体积小、成本低及容易扩展的特点。本论文主要内容有以下几个方面:(1)通过对激光器放电管的理论分析与计算得到了放电管的相关参数,分析了射频电源功率放大器采用不同工作状态的特点,并给出实际的选择方案。(2)结合轴快流CO2激光器对射频电源的要求选择了合适的功率放大器芯片,分析了不同电路拓扑方案的特点,根据课题要求选择合适的拓扑方案,推导了实现电路所需要的参数。采用PSpice软件对选用芯片进行了建模仿真与参数优化。(3)根据射频功率放大器驱动特点,在分析射频电源驱动设计要点,包括功率放大器的工作频率稳定性、驱动电流以及电压等要求的基础上,选择了合适的驱动芯片。并给出了整个驱动级的外围电源设计方案及相应的供电电源方案。(4)完成了对整个电源的硬件设计,包括设计要点及注意事项等。并通过对整个电源方案的试制与调试,完成了对整个射频电源设计方案的验证。