半个世纪以来,多孔阳极氧化铝(porous Anodic Aluminum Oxide,AAO)由于其独特的结构和广泛的应用,吸引了众多研究人员。高度有序的多孔阳极氧化铝膜可以作为模板,起到限定或诱导的作用,进而形成多种有序的纳米结构,如纳米线,纳米点,纳米棒,纳米管等,在磁性材料、光伏等领域具有良好的应用前景。除此之外,高度有序的阳极氧化铝模板自身也有重要的应用。特别近年来,在硬质基底上制备有序的AAO多孔结构膜更日益引起了人们的高度重视。本文主要研究在导电的氧化铟锡(ITO)玻璃上AAO膜的可控制备,以及不同制备条件对样品性能的影响。与使用纯铝片或纯铝板制备AAO膜的方法相比,在基底上制备多孔阳极氧化铝膜,可以克服纯铝片制备的多孔结构质脆、难转移等缺点,从而使AAO多孔结构得到更广泛的应用。除此之外,许多新型光伏器件需要在导电基底上制备纳米线结构,ITO玻璃正好满足这一需求。本文采用磁控溅射的方法在ITO玻璃上沉积高纯铝膜,研究了不同磁控溅射条件对铝膜的影响。制备出Al/ITO结构后,采用不同阳极氧化条件将其阳极氧化成AAO/ITO。利用阳极氧化的电流-时间曲线,分析了AAO的形成过程。结果表明,在磷酸电解液中Al层阳极氧化需经历5个阶段,并发现增加电流密度可以加快AAO膜的形成。采用高场阳极氧化的方式,可以快速有效的制备有序多孔膜。另外,由于AAO膜中阻碍层的存在,阻止了AAO的底部与基底的良好电接触,不利于其应用。我们在草酸电解液中阳极氧化时,发现了一种直接去除阻碍层的方法,此方法在纳米光电器件的组装中具有重要的应用前景。实验还表明,草酸电解液中阳极氧化产生的AAO膜厚度先增加后减小。另外,本文还研究了ITO玻璃上AAO膜的光学特性。首先是光致发光谱(PL)的观测。AAO的发光带能够分解成两个发光中心,分别为405nm和455nm。PL谱表明,在不同的阳极氧化时间下,F心和F+心的浓度会发生较大改变。草酸中形成样品的PL谱比磷酸的PL谱明显,规律更突出。最后,对透射率的观测表明,随着阳极氧化的时间越来越长,样品的透射率变大。而且扩孔之后,样品的透射率也会增加。