表面等离激元(Surface Plasmons Polaritons,SPPs)是指在入射光照射下,金属-介质(MI)分界表面上产生的自由电子集体震荡,经与电磁波耦合进而形成沿MI分界面传输的电子疏密波。而由金属-介质-金属(MIM)构成的波导结构可将SPPs波能量束缚在纳米级尺度进行传输,突破了传统光学中衍射极限的限制,进而为实现高密度集成的光子器件及回路提供了有力的支撑。基于这一优势,本文研究了MIM波导加谐振腔结构对SPPs波传输与控制作用,并分析了在该波导加谐振腔结构中类电磁感应透明效应(EIT)的实现条件与物理机理。本文利用数值模拟方法研究了表面等离激元在MIM波导与矩形谐振腔的耦合过程,分析了矩形谐振腔谐振效应对透射谱曲线的调制作用。分析结果揭示了主波导通过衰逝场实现与谐振腔的能量耦合;谐振腔中的电磁能量当满足类F-P谐振条件时,SPP能量将会在谐振腔中得到集聚增强;而导致返回主波导中的能量显著降低。基于F-P谐振的窄带效应,这种结构能够为实现易于集成的纳米级窄带滤波器提供有价值的参考。在波导同侧及两侧分别引入平行双谐振腔模型,分析了这两种结构中产生的等离激元诱导透明(PIT)效应,得到了在原吸收区产生的异常透射峰。基于模场分布,采用模式分裂效应解释了平行双谐振腔与主波导的耦合现象。结果表明当平行谐振腔参数相同,距离足够近时,平行谐振腔通过衰逝场耦合将产生同相与反相两个谐振超模,而两个超模的谐振中心波长之差将随耦合间距的减小而增大;进而在这两个谐振波长中间的区域将实现异常透明区间。在波导两侧引入平行三谐振腔及四谐振腔结构,数值模拟了波导的透射谱中原吸收区内产生的双透射峰及三透射峰,并在此基础上研究了不同腔长及耦合间距对多个透射峰强度、位置、谱宽的定量影响。基于谐振效应及模式分裂原理解释了多透射峰的形成及演化过程,着重讨论了谐振腔长度参数与多透射峰位置的依赖关系,在此基础上结合双腔与四腔结构初步设计了一种单波长的两维滤波器模型。本文的分析结果为进一步实现多波长窄带滤波与高灵敏度传感奠定了基础。