【摘 要】
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由于热丝法气相沉积金刚石薄膜质量好,设备简单,成本低而受到广泛应用。本文研究了改变背底真空对薄膜质量的影响,着重讨论了在该系统中得到质量较高金刚石薄膜的最小本底真
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由于热丝法气相沉积金刚石薄膜质量好,设备简单,成本低而受到广泛应用。本文研究了改变背底真空对薄膜质量的影响,着重讨论了在该系统中得到质量较高金刚石薄膜的最小本底真空值; 阐述了降低灯丝温度对薄膜质量的影响。在较低压力下用甲烷氢气做碳源在1500～1700℃合成出质量较高的金刚石薄膜,在灯丝温度为1300℃时,获得了微观形貌为球状物的薄膜。本文又用热丝法在以CrN和TiN为过渡层的不锈钢基体上沉积金刚石薄膜,直接在316不锈钢沉积金刚石试验导致得到碳灰等非附着层,以及质量很差的薄膜。如果用CrN和TiN做为过渡层,在650℃经过一定时间沉积以后,CrN试样表面获得金刚石结构依附,TiN过渡层试样获得了高质量金刚石薄膜。用扫描电镜,拉曼光谱和X-ray衍射(Cu靶)手段对沉积金刚石膜和基体层中的相,形貌,化合物,质量等进行分析,讨论本实验的结论。
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