论文利用磁控溅射的方法在n-Si(100)基片上成功沉积了钯掺杂的非晶碳薄膜(a-C:Pd),对不同Si基底电阻率、H2O2溶液处理前后对a-C:Pd/SiO2/Si太阳能电池的影响进行了较为详细的研究。　　 首先,在具有不同电阻率的Si基底上(0.002-0.005、0.01-0.02、0.1-1、2-3、10-20Ωcm)利用磁控溅射方法沉积钯掺杂的非晶碳薄膜,并保留了Si基底上的自然氧化层,制备出a-C:Pd/SiO2/Si异质结太阳电池,并首次研究了Si基底电阻率对a-C:Pd/SiO2/Si异质结太阳能电池光伏性能的影响。发现Si基底的电阻率对a-C:Pd/SiO2/Si异质结的光伏特性具有巨大的影响,当Si基底的电阻率为2-3Ωcm时,a-C:Pd/SiO2/Si异质结太阳能电池拥有最高的开路电压(Voc)、短路电流密度(Jsc)和转化效率(η)。最后,将Si基底电阻率对电池性能的影响归因于基底中载流子浓度的变化,并利用PN结原理对此现象进行了合理的解释。　　 其次,对a-C:Pd/SiO2/Si太阳电池在H2O2溶液处理前后光伏特性的变化进行了较为详细的研究。发现在室温下,在20mW/cm2光照条件下,a-C:Pd/SiO2/Si太阳能电池经过H2O2溶液处理后,光伏特性得到了巨大的提高。其光伏特性得到巨人提高的原因可归因于H2O2溶液处理促进了a-C:Pd薄膜的类石墨化以及表面官能团的修饰。另外,由于过氧化氢价格便宜,易于储存,而且利用过氧化氢对太阳能电池材料进行处理,处理工艺简单易行,反应产物对人体无毒害,因此在提高太阳能电池效率方面有很好的应用价值和应用前景。