微波PIN管键合工序铜球脱落的失效机理和改进方案的研究

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PIN二极管是一种在微波,电力以及广电领域里广泛应用的半导体二极管器件。PIN二极管是由P型半导体和N型半导体以及中间夹杂一层本征半导体构成,其中P型和N型半导体都为重掺杂。因此它与传统的PN型二极管会呈现出不一样的电压电流特性。由于PIN二极管在不同偏置或不同频率下所表现出的不同特性,使得它在在微波领域多用于微波开关及衰减器等,而在电力电子领域中多用于大功率二极管。近年来随着铜线键合技术的不断成熟,很多半导体器件都开始用铜线键合代替金线以降低封装成本,PIN二极管也没有能够例外。然而,当公司在将铜线推广到二极管产品之后却发现PIN二极管的键合良率明显低于其他产品,并且有更多的客户投诉发生,给公司带来很大的损失。作者所在部门经过精密细致的失效分析找到该产品失效的原因并提出改进方案。最终与设计部门一起合作更改PIN二极管焊盘设计,并成功通过了可靠性测试,解决了这一问题。使得该产品最终良率上升了近2%,并且成功在公司同类产品推广了这一方案。针对铜线键合这一热门课题,国内外已经有了很多研究,而这些研究大部分都集中在键合的工艺参数优化和铜线材料改进这两方面。本文在充分理解和吸收这些经验成果的基础上创新性的通过改进焊盘设计来提高铜线键合的性能与可靠性,或可为未来的技术革新提供一些参考。
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