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该文紧密围绕复俣薄膜热释电红外探测器阵列展开,分析并模拟了复合薄膜结构中热绝缘结构的性能,设计了探测器的掩膜版版图,详细讨论了复合薄膜结构热释电红外探测器阵列的制备,并对阵列及单元器件的性能进行了测试.
复合薄膜热解电红外探测器阵列的基础研究
【摘 要】
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该文紧密围绕复俣薄膜热释电红外探测器阵列展开,分析并模拟了复合薄膜结构中热绝缘结构的性能,设计了探测器的掩膜版版图,详细讨论了复合薄膜结构热释电红外探测器阵列的制
【机 构】
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西安交通大学
【出 处】
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西安交通大学
【发表日期】
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2000年期
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