随着导弹等快速进攻性武器的发展，对雷达的功能提出了许多新的要求。采用机械扫描方式的天线已很难适应新的作战要求。自上世纪50年代以来，用电控的方式进行波束扫描的方法得到了迅速发展，从而使相控阵天线及其基本元件移相器的研究获得了广泛的重视。进入上世纪90年代，由于铁电移相器具有处理能力大、相移速度快、插入损耗小以及体积小等优点，从而取代了铁氧体移相器和PIN二极管移相器成为移相器研究的主流。钛酸锶钡（BST）材料由于其介电常数可通过外加电场来调节（即介电可调性能），从而成为铁电移相器的主体材料，并获得了广泛的研究。本文采用磁控溅射法制备了Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜，系统地研究了溅射法制备BST薄膜的工艺参数，以及不同制备条件对薄膜组分、结构及性能的影响，并对BST薄膜的介电性能、可调性能作了较全面的描述。本文的工作重点是采用双层结构薄膜、Pb掺杂、以及电场退火处理方法获得了增强的介电可调性能。同时，我们采用激光脉冲沉积法制备了Ba6-3xNd8+2xTi18O54（BNT）薄膜。BNT是另一类被广泛研究的微波介质材料。由于它可用作民用移动通信机中双工器的介质材料，因而成为近20年来的研究重点。但对BNT材料的研究主要集中在对其陶瓷体材料的研究上，目前尚无对其薄膜性能研究的报道。本文采用激光脉冲沉积法制备了BNT薄膜，并对其介电性能进行了较系统地研究。这些研究结果填补了对BNT薄膜材料研究的空白，对BNT薄膜在微波器件中的应用具有重要的价值。主要结果如下：1.对磁控溅射法制备BST薄膜的工艺参数进行了较系统地研究，对制备参数进行了优化。发现沉积气氛为9Pa、溅射功率为100W、衬低温度为600oC的制