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微机械技术是生物芯片微制作中的关键技术.近年来,微机械技术有了很大发展,应用领域也逐渐扩大,但是它的设计仍处于手工阶段,没有实现自动化.这种情况大大阻碍了生物芯片的产业化进程.计算机辅助设计(CAD)就是解决这个问题的关键技术之一.该文在详细研究微机械技术自身特点的基础上,提出了一个完整的微机械CAD软件的基本框架,并提出了微机械CAD软件设计与实现过程中要遵守的原则.