集成电路（Integrated Circuit，IC）产业在国民经济和社会发展中扮演着重要的作用，其中集成电路测试是集成电路生产流程中必不可少的步骤，随着半导体制造工艺的发展和集成电路功能日益复杂化，与之相应，对集成电路自动测试设备也提出了更高的要求，以满足验证和测试的新需求。数字化仪是模拟集成电路测试系统/混合信号集成电路测试系统的核心部件之一，它实现模拟芯片输出信号的数字化过程，验证芯片是否满足设计要求和实际应用。本文面向模拟集成电路测试的特定应用，阐述了数字化仪的在集成电路测试中的特殊要求，在研究数字化仪工作原理的基础上，首先构建了多通道数字化仪的软硬件架构，然后完成了面向模拟集成电路测试的高性能数字化仪的设计和实现；并采用软硬件协同校准方法，提高数字化仪的测试精度，主要内容包括：1、介绍了集成电路自动测试设备(Automatic Test Equipment，ATE)的发展历程及应用现状，并对模拟IC自动测试系统的典型架构和各模块的功能进行说明，最后阐述了本课题的研究意义和价值。2、根据模拟集成电路测试的实际要求，重点分析和讨论了数字化仪的设计原理、软硬件架构和实现方案。3、完成面向模拟IC测试的数字化仪的硬件部分的设计和实现，并对其中的信号的输入方式、增益调整、差分驱动和校准等关键模块进行了详细的阐述；最后就数字化仪PCB设计中需要注意的地方提几点建议。4、完成FPGA控制逻辑主要模块的开发，对数字化仪关键模块和系统进行了调试，并分析和讨论了调试过程中遇到的问题和技术难点，主要包括数字化仪的误差分析和精度改进。5、对本课题设计的数字化仪进行测试，并分析和总结了测试的结果，面向模拟IC测试的数字化仪实现了设计的基本目标，基本满足模拟芯片的测试要求。