当今社会，太阳能产业无论是在时间上还是在空间上，发展都十分迅速，多晶硅成为阳能电池板的主要原材料，多晶硅产品的质量和成本在整个光伏发电产业链中所占的比重最大，全国各地对多晶硅的需求迅猛增长，多晶硅的生产技术同时也在快速发展，工艺设备也不断的向大型化、节能化方向发展。如今主流的多晶硅生产技术是改良西门子法还原炉工艺，从2003年还原炉内多晶硅数量由12对棒开始逐渐增加到24对棒、再到48对棒等，可见多晶硅生产流程中的还原工艺是一个发展极其迅速的技术工艺。　　国内目前技术最为成熟、使用范围最广、多晶硅产量最大、能耗最低的多晶硅还原炉设备为24对棒还原炉，由于使用范围广，技术成熟，对于24对棒还原炉的运行参数和工艺曲线各个厂家都有不同的差别。运行过程中仍存在较多发掘潜力和研究方向，例如倒炉、单电耗较高、生长不稳定、产品黑皮料、提质降耗等具有多个研究方向。　　本文主要针对改良西门子法多晶硅24对棒还原炉CVD反应器的生产情况，再结合多晶硅由气相转化为固相的原理，先使用模拟软件对多晶硅还原炉内情况进行模拟，而对生产过程中的各种参数进行优化，以达到对整个生产工艺曲线改进的思路。　　在生产试验过程中进行验证和调整，分别从供料配比曲线、电流曲线、进气喷嘴、底盘结构等角度，对还原炉生产工艺进行优化调节和控制，解决24多对棒还原炉生产过程中存在的缺相、硅晶体微观沉积不理想，造成硅晶棒宏观表面不美观、产品少子数量、寿命不达标、大型量产成本优势未得到发挥等问题，并为工艺参数继续优化提供方向。　　通过放大试验最终得到一个稳定的运行方案和一套还原炉系统的压力、温度、供料配比及流量参数的参考体系，具有一定普遍性。可以在此基础上比对同类型还原炉，并在供料、电流曲线基础上按照本文思路进行优化调整，减少大型还原炉生产周期，不断挖掘提高产能、降低成本。