改良西门子多晶硅生产工艺中多晶硅生长影响因素主要分为两个方面，内在质量因素和外在质量因素。内在质量因素和反应物料的品质有关，对还原反应成本影响较小，外在质量因素如硅棒温度、还原炉内压力、混合气组成、H2与SiHC l3的摩尔比等不仅影响多晶硅生长的表观质量，更重要的是影响还原电耗，影响企业的生产成本。　　本文从反应温度、反应压力、反应原料配比、喷嘴形式、炉内硅棒数量、硅芯型式、混合气组成、炉筒内壁材质等方面对多晶硅还原气相沉积反应的影响进行分析，在企业现有生产工艺条件下，进行了还原提温、还原提压、混合气配比优化、喷嘴结构优化、硅芯优化、混合气通二硅的实验，并从还原一次转化率、电单耗、硅产率、无定形硅产量、以及硅棒的表观质量等方面进行了实验对研究与理论分析，得到了优化的生产工艺条件，通过长期生产验证，优化后的生产工艺可以使多晶硅的生产成本大大降低。