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微机电装配等精密度要求较高的场合中,接触式传动方式因存在库伦摩擦不再适用,而采用磁悬浮支撑的非接触传动方式,因无摩擦、寿命长和精度保持性好等特点,显现出无可比拟的优势。传统的磁悬浮系统中,对支撑磁力的调节主要是基于电磁感应原理来实现,线圈电流的功耗和发热制约其在高精密场合的应用,而复合PZT和GMM(简称PZT/GMM)逆效应的磁力控制构件,通过对电容性的压电陶瓷(PZT)施加驱动电压,从而对超磁致伸缩材料(GMM)施加压力,进而改变输出磁力,在低频状态下功耗和发热极低,所以具有重要的应用前景。本文