非球面光学元件检测方法的研究

来源 :武汉华中光电技术研究所 中国舰船研究院七一七研究所 华中光电技术研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:khalista5
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
随着非球面光学元件的设计和加工技术的发展,对非球面光学元件的面形及其参数的检测提出了更高的要求。在已有高精度检测仪器的条件下,一方面要研究适合具体工件类型的新的检测方法,扩展仪器的检测范围以充分发挥检测仪器的功能;另一方面要尽可能分析并降低检测仪器的误差,以提高检测的精度。   对非接触式检测,本文在介绍用干涉仪检测非球面的基本原理的基础上,归纳了干涉法检测非球面的几种方法以及常用补偿器的类型,以单透镜补偿器为例详细阐述了补偿器的设计和精度分析,同时还指出部分补偿透镜的思想可以简化补偿器的设计。   对接触式检测,本文以检测口径小于120mm的TalysurfPGI轮廓仪为基础,详细分析了轮廓仪在检测中的误差因素,推导出了轮廓仪检测二次旋转轴对称非球面时,各项误差对测量面形影响的传递系数方程,得出测量坐标系与工件坐标系间的不重合误差对测量面形误差的影响随被测口径、顶点曲率的绝对值以及坐标系间的定位误差和方向误差的增大而增大的结论。   用自己编写的Matlab程序模拟计算了测量坐标系与工件坐标系间存在不重合误差时所产生的面形误差,提出了根据轮廓仪检测的面形误差数据拟合被测非球面的面形方程的方法并以实例证明此法可行,最后在实验中证明了上述理论分析与程序模拟的正确性。
其他文献
在日趋激烈的竞争时代下,企业为了自身竞争力的提升越来越重视企业人员的能动性和创造性,而员工对绩效考核满意度的评价则会反馈于员工的工作态度和工作行为,员工对绩效考核
光纤传感器具有绝缘性好、抗电磁干扰能力强、灵敏度高等特点,在石油化工、交通运输、国防等领域广泛应用。分布式光纤传感技术近年来发展迅速,其分布式和长距离的特性使得它在
契约式教学是一种以学习契约为媒介的教学组织形式,被认为是“最适合培养学习者自主学习能力的工具之一”,对于研究如何培养具有自主学习能力的成功的学习者有很大的意义.对
大型综合客运枢纽是实现大量客流通过多种交通方式转换的场所,也是城市内外交通联系的纽带。伴随着铁路枢纽的快速发展,铁路枢纽与市内交通的衔接逐渐发展成为铁路客运综合交通
随着光纤通信与光纤传感的发展,以 LiNbO3为衬底材料、以M-Z干涉仪为光波导结构、采用共面行波电极(CPW)为调制电极的集成光学强度调制器得到了越来越广泛的应用。采用行波电
公路交通是社会和国民经济发展的基础支撑,公路网规划是公路建设的重要基础性工作。改革开放以来,我国公路交通取得了长足发展,基础设施得到明显改善,运输能力得到明显增强。虽然
一rn“起床,赶紧起床,驴都牵到院子里等半天了!”在睡梦中被妈摇醒的那个清早,我大概十岁,或者更小些.溜下炕,看到家里那头黑毛驴已经站在大门口了,大眼睛湿湿的,被晨露洗过
期刊