0-4GHz MMIC集成串并转换数控衰减器芯片研制

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数控衰减器是有源相控阵雷达T/R模块中的关键部件。为了实现相控阵雷达T/R模块小型化、轻量化和高可靠性的需求,本论文研制了一款集成串并转换功能的数控衰减器芯片。该芯片将数控衰减器和输入信号串并转换模块集成到一块MMIC芯片上,从而减小了 T/R模块的尺寸、重量和成本,减少了组件难度,同时也提高了 T/R模块的可靠性。本文从数控衰减器技术指标和衰减器拓扑结构、微波开关原理、GaAs数字电路等方面,深入研究了 MMIC集成串并转换功能的数控衰减器的设计,形成了减小附加相移、降低插入损耗等关键指标的设计技术,并采用0.5um GaAs E/D pHEMT工艺设计了 一款集成串并转换功能的数控衰减器芯片。在设计过程中,串并转换模块使用直接耦合场效应逻辑结构并进行了原理图仿真验证。数控衰减器采用了改进T性拓扑结构和开关型拓扑结构来减小参考态插入损耗和芯片整体附加相移。对芯片整体版图进行了电磁仿真验证,确保了芯片的整体综合指标满足设计要求,并且插入损耗、衰减精度等关键指标性能优异。芯片测试采用了基于探针台、矢量网络分析仪、PXI机箱的小信号测试系统,并使用自动测试程序对实际制作的集成串并转换功能的数控衰减器芯片进行了全面电性能测试评估。测试结果表明该芯片在0-4GHz工作带宽内:参考态插入损耗4GHz时为-2.3dB,rms衰减精度小于0.3dB,整体附加相移小于2。,所有态输入输出反射系数小于-14dB,芯片尺寸为2.00mmX 1.70mm。
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