氧化钒非制冷红外焦平面电路的分析与设计

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本论文研究了热敏电阻型非制冷红外焦平面器件的空间噪声校正技术、非制冷红外焦平面器件设计及以其为核心的微测热辐射计信号处理通道的设计与实现。根据相关理论以及已有的试验数据,对非制冷红外焦平面阵列器件特性参数进行初步确定,采用多路通道分时复用的方式设计系统框架,并进行相应的仿真。仿真结果证明了方案的可行性。非均匀性校正是红外热辐射成像的一个重要技术。基于两点校正算法的非制冷红外焦平面不均匀化能够较好的满足时间和精度的要求。根据该算法,选定校正电路的相关参数,对电路进行设计优化,并选用FPGA实现该电路。通过仿真结果看出,该设计电路具有很好的实时性,并能有效消除空间噪声,并且对以后的更大规模阵列有较好的扩充性和兼容性。非制冷红外焦平面器件是微测热辐射计的核心部件。本文研究了基于氧化钒敏感材料的焦平面器件的设计与基于cmos工艺的实现;包括微桥结构的设计与工艺流程,读出电路的设计以及优化,版图实现。从仿真可以得到较理想的电路特性,为后端处理提供了较好的电信号源。本文最后基于非制冷红外焦平面芯片对后端硬件电路进行相应的设计。本论文的工作属于非制冷微测热辐射计研制的一部分工作,本文研究的非制冷红外焦平面器件以及相关电路为今后非制冷微测热辐射计的系统实现与集成奠定了良好的基础。
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