集成光学加速度传感器属于混合型迈克尔逊干涉型传感器,具有频带宽、不受电磁干扰、失真度小、灵敏度高、无火花、能在易燃和温差较大的环境中使用等优点,广泛地应用于导弹的制导、飞机的导航、人造卫星的姿态控制、刹车控制系统、大型电器设备的振动遥测以及石油的地震勘探等多个领域。在集成加速度传感器中,信号处理电路是其非常重要的一部分,它的性能高低也决定着传感器性能的高低。高速数字信号处理芯片的出现,使传感器信号处理的数字化有了很大的发展,比传统的采用模拟电路有更多的优点。。文章首先对集成光学加速度传感器的系统原理进行分析,论述了迈克尔逊干涉和调制原理。然后对其信号处理系统进行了分析和计算,并提出了滤波器的设计方法。最后以TI公司的定点DSP数字信号处理芯片TMS320VC5410为核心,设计了信号处理系统的硬件电路并提出了软件设计方法。在对信号处理系统进行的测试于仿真中表明,本信号处理系统输入信号与输出信号能很好的吻合,符合集成光学加速度传感器的各项技术指标要求。