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采用真空蒸发法在玻璃衬底上制备了稀土Dy、Nd掺杂的ZnSe薄膜，在氮气气氛中，T=350℃, t=20min下对薄膜进行热处理，并采用X射线衍射仪、X射线光电子能谱仪、紫外可见分光光度计以及原子力显微镜对薄膜的性能进行了测试。通过测试结果，分析并优化了ZnSe薄膜的制备工业，同时研究了稀土Dy、Nd掺杂对ZnSe薄膜特性的影响。实验结果表明：高纯单质锌与硒按照原子配比Zn:Se=0.9:1混合蒸发，可制备较理想的纯ZnSe薄膜。在氮气保护下，热处理温度T≥250℃, t=20min时，