随着工业的发展,工厂产生的各种各样的有毒气体对环境以及人体健康都会造成危害,因此,实时监控危险气体的浓度是十分重要的。湿度检测对食品防霉、工业生产、医药生产,仪表电器都很重要。因此,研发低功耗高性能的湿敏传感器是很有意义的。本文以基于金属氧化物薄膜的声表面波（Surface acoustic wave,SAW）传感器为研究课题,重点研究了基于AlO（OH）薄膜以及ZnO-Al₂O₃复合薄膜的SAW传感器的气敏性能和湿敏性能,研究内容主要分为四部分:一,对SAW传感器的研究现状进行调研,尤其是对基于金属氧化物薄膜的声表面波传感器进行研究。研究并选择用于气敏和湿敏传感器的金属氧化物薄膜作为SAW传感器的敏感薄膜。二,研究SAW传感器的制备流程以及SAW传感器的传感机理。研究敏感薄膜的制备方法以及表征方法。三,采用溶胶-凝胶法将AlO（OH）薄膜沉积到SAW谐振器上,用于SAW传感器的气敏和湿敏研究。所制备的AlO（OH）薄膜具有中孔结构并且对氨气（NH₃）具有良好的亲和力,因此可以选择性地吸附NH₃并与之反应。在室温下,基于AlO（OH）薄膜的SAW传感器对10 ppm NH₃产生了1540 Hz的正响应,该传感器具有出色的灵敏度,选择性和稳定性。此外,该传感器具有很好的湿敏性能,因此可作为湿敏传感器。四,采用溶胶-凝胶法制备了ZnO-Al₂O₃复合薄膜,它是一种用于SAW传感器的高性能敏感薄膜,旨在室温下检测浓度为ppb量级的硫化氢（H₂S）气体。该复合薄膜继承了Al₂O₃薄膜的中孔结构,并且薄膜里的ZnO组分与H₂S气体分子有着良好的亲和力,因此该复合膜可以选择性地吸附H₂S气体分子并与之反应。该传感器在室温下对浓度为10 ppb的H₂S气体有500 Hz的频率响应,具有15kHz/ppm的高灵敏度以及出色的选择性。此外,该传感器具有良好的湿敏性能,因此也可作为湿敏传感器。